| 
Поиск по ключевому слову "лазерная рефлектометрия"
Лазерный рефлектометрический метод измерения толщины и оптических характеристик тонких пленок в процессе их роста
| Авторы: Белов М.Л., Белов А.М., Городничев В.А., Козинцев В.И., Федотов Ю.В. | Опубликовано: 30.08.2013 |
| Опубликовано в выпуске: #2(83)/2011 | |
| DOI: | |
| Раздел: Лазерные и оптико-электронные системы | |
| Ключевые слова: тонкая пленка, рост, толщина, оптические характеристики, лазерная рефлектометрия | |