|

Интерферометрический метод контроля формы асферических поверхностей качения прецизионных подшипников

Авторы: Осипович И.Р., Пуряев Д.Т. Опубликовано: 13.04.2015
Опубликовано в выпуске: #3(35)/1999  
DOI:

 
Раздел: Лазерные и оптико-электронные системы  
Ключевые слова:

Рассмотрены принципиальные схемы измерительной ветви лазерного интерферометра для контроля формы конических, цилиндрических и торических поверхностей качения деталей прецизионных подшипников. Приведены основные геометрические соотношения схем и методы проведения измерений, а также результаты экспериментальной проверки схемы базовой измерительной ветви. Точность контроля формы асферических поверхностей составляет 0,05...0,1 мкм в зависимости от параметров поверхности.