Интерферометрический метод контроля формы асферических поверхностей качения прецизионных подшипников
Авторы: Осипович И.Р., Пуряев Д.Т. | Опубликовано: 13.04.2015 |
Опубликовано в выпуске: #3(35)/1999 | |
DOI: | |
Раздел: Лазерные и оптико-электронные системы | |
Ключевые слова: |
Рассмотрены принципиальные схемы измерительной ветви лазерного интерферометра для контроля формы конических, цилиндрических и торических поверхностей качения деталей прецизионных подшипников. Приведены основные геометрические соотношения схем и методы проведения измерений, а также результаты экспериментальной проверки схемы базовой измерительной ветви. Точность контроля формы асферических поверхностей составляет 0,05...0,1 мкм в зависимости от параметров поверхности.