| 
Современный интерференционный эллипсометр
| Авторы: Лысенко Г.А., Печкин Д.Ю., Погодаев В.В. | Опубликовано: 13.04.2015 |
| Опубликовано в выпуске: #3(35)/1999 | |
| DOI: | |
| Раздел: Лазерные и оптико-электронные системы | |
| Ключевые слова: | |
Предложена структурная схема современного интерференционного эллипсометра. Проведен анализ составляющих погрешности измерения разности фаз между интерференционными сигналами и получены зависимости, позволяющие: вычислить погрешность при заданных технических характеристиках и режиме работы узлов эллипсометра; оптимизировать режим работы узлов эллипсометра с целью достижения минимальной погрешности; определить требуемые технические характеристики и режим работы узлов эллипсометра для достижения заданной погрешности. Приведены результаты экспериментов, подтверждающие полученные зависимости.
