Интерферометр для контроля углов клиньев

Рассмотрена оптико-электронная система лазерного интерферометра для контроля углов клиньев. Эта система регистрирует интерференционную картину на матричном приемнике излучения. Интерферометр позволяет оценить малый угол исследуемого клина по вносимому им изменению формы волнового фронта оптического излучения, что преобразуется интерферометром в изменение размера интерференционной картины. В рассматриваемом интерферометре исследуемый клин преломляет падающий на него пучок лучей. Погрешности обработки его поверхностей вызывают деформации рабочего волнового фронта примерно в 2--4 раз меньшие, по сравнению с известными схемами контроля, где поверхности клина работают на отражение. Разработанный интерферометр обеспечивает высокоточный контроль углов клиньев на стадии полировки поверхностей, включая возможность определения направления клина. При необходимости интерферометр можно использовать для комплексного контроля качества изготовления клина, оценить не только неплоскостность поверхностей, но и неоднородность стекла, а также использовать для контроля углов призм

Литература

[1] Кривовяз Л.М., Пуряев Д.Т., Знаменская М.А. Практика оптической измерительной лаборатории. М., Машиностроение, 2004.

[2] Креопалова Г.В., Пуряев Д.Т. Исследование и контроль оптических систем. М., Машиностроение, 1978.

[3] Креопалова Г.В., Лазарева Н.Л., Пуряев Д.Т. Оптические измерения. М., Машиностроение, 1987.

[4] Малакара Д., ред. Оптический производственный контроль. М., Машиностроение, 1985.

[5] Андреев А.Н., Гаврилов Е.В., Ишанин Г.Г. и др. Оптические измерения. М., Логос, 2008.

[6] Кирилловский В.К. Оптические измерения. Ч. 2. Теория чувствительности оптических измерительных наводок. Роль оптического изображения. СПб., ИТМО, 2003.

[7] Шредер Г., Трайбер Х. Техническая оптика. М., Техносфера, 2006.

[8] Мишин С.В., Кулакова Н.Н., Тирасишин А.В. Адаптация алгоритма поиска координат энергетического центра изображения автоколлимационной точки для работы с цифровым автоколлиматором. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение, 2016, № 2, с. 117--124. DOI: http://dx.doi.org/10.18698/0236-3933-2016-2-117-124

[9] Тимашова Л.Н., Кулакова Н.Н., Сазонов В.Н. Оптико-электронная система для измерения сферической аберрации. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение, 2018, № 6, с. 112--122. DOI: http://dx.doi.org/10.18698/0236-3933-2018-6-112-122

[10] Кулакова Н.Н., Каледин С.Б., Сазонов В.Н. Анализ погрешностей измерения фокусного расстояния ИК-объективов гониометрическим методом. Вестник МГТУ им. Н.Э. Бауман. Сер. Приборостроение, 2017, № 4, с. 17--26. DOI: http://dx.doi.org/10.18698/0236-3933-2017-4-17-26

[11] Мосягин Г.М., Немтинов В.Б., Лебедев Е.Н. Теория оптико-электронных систем. М., Машиностроение, 1990.

[12] Якушенков Ю.Г., ред. Проектирование оптико-электронных приборов. М., Логос, 2000.

[13] Якушенков Ю.Г. Теория и расчет оптико-электронных приборов. М., Логос, 2004.

[14] Коротаев В.В. Расчет шумовой погрешности оптико-электронных приборов. СПб., ИТМО, 2012.

[15] Заказнов Н.П., Кирюшин С.И., Кузичев В.И. Теория оптических систем. СПб., Лань, 2008.