КОНСТРУИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ
УДК 681.2.089
ОЗОНОМЕТР НА ОСНОВЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
МЕТАЛЛООКСИДНЫХ СЕНСОРОВ И ЕГО ГРАДУИРОВКА
Алиев А.А.
,
Низамов Т.И.
,
Исаев Э.И.
Национальная академия авиации, г. Баку,
Азербайджанская Республика
e-mail:
;
;
Рассмотрены метод и устройство измерения концентрации озона в озоно-
воздушной смеси на основе изменения сопротивления чувствительного эле-
мента металлооксидных сенсоров MQ131 с учетом влажности и темпера-
туры среды. Предложена общая регрессионная зависимость, учитывающая
совместное влияние температуры и влажности, а также концентрации озо-
на на сопротивление чувствительного полупроводникового слоя сенсоров. Раз-
работан экспериментальный измеритель концентрации (озонометр) с блоком
компенсации, учитывающим совместное влияние температуры и влажности
озоно-воздушной среды. Приведены результаты испытаний разработанного
озонометра и сопоставление данных с йодометрическими и стандартными
приборными измерениями с помощью поверочного озонометра на основе спек-
трофотометрического метода. Проведена йодометрическая и приборная гра-
дуировки озонометра, предложена регрессионная зависимость, описывающая
связь напряжения на выходе сенсора с концентрацией озона.
Ключевые слова
:
металлооксидные газовые сенсоры, озон, влажность, темпера-
тура, измеритель концентрации, озонометр.
OZONOMETER BASED ON METAL-OXIDE SENSORS
AND ITS GRADUATION
A.A. Aliev
,
T.I. Nizamov
,
E.I. Isaev
National Academy of Aviation, Baku,
Republic of Azerbaijan
e-mail:
;
;
The method and the instrument are considered for measuring the ozone concentration
in the ozone-air mixture, which are based on a change in the resistance of a
sensing element of the MQ131 metal-oxide sensors depending on the humidity
and temperature of the medium. A general regression relationship is proposed
taking into account the joint effect of the temperature and humidity, as well as
the ozone concentration on the resistance of the sensitive semiconductor layer of
the sensors. The experimental concentration meter (ozonometer) is developed with
a compensation unit allowing for joint influence of temperature and humidity of the
ozone-air medium. The results of tests of the developed ozonometer are given, and
the data are compared with the results of iodometric and standard instrumental
measurements using the calibration ozonometer based on the spetrophotometric
method. The iodometric and instrument graduation of the ozonometer is conducted;
the regression relationship describing the change in voltage at the sensor output
depending on the ozone concentration is proposed.
Keywords
:
metal-oxide gas sensors, ozone, humidity, temperature, concentration
meter, ozonometer.
30 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2013. № 4
