Рис. 3. К определению положенияцентра предметного пучка
P
при записи ГПЗ
структуры в направлении, перпендикулярном поверхности регистри-
рующего слоя, в каждом
i
-м участке зеркала должен одновременно
удовлетворять соотношениям
d
i
=
λ
1
/K
·
2
n
sin
α
n
1
i
;
(4)
d
i
=
λ
2
/
2
n
·
sin
α
n
2
i
,
(5)
где
n
— показатель преломления регистрирующей среды;
K
— коэф-
фициент усадки регистрирующего слоя в результате постэкспозицион-
ной обработки, определяемый отношением толщин регистрирующего
слоя до и после указанной обработки;
α
n
1
i
и
α
n
2
i
— углы в регистри-
рующей среде между направлениями преломленных в среде лучей
соответственно на длине волны
λ
1
, определяющих положение центра
предметного пучка
Р
, и на длине волны
λ
2
, исходящих из точки
С
, и
поверхностью регистрирующей среды при съемке ГПЗ или касатель-
ной к поверхности регистрирующей среды при съемке ГСЗ.
Из соотношений (4) и (5) при известных значениях коэффициента
усадки
K
, определяемого экспериментально, показателя преломления
n
регистрирующего слоя БХЖ и углов
α
n
2
i
, которые могут быть опре-
делены расчетным путем для каждого из выбранных участков зеркала
44 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2010. № 4
