| 
Оценка разрешения фототеплового метода при измерении нарушенного слоя на поверхности стекла
| Авторы: Васильев Т.Н., Судьенков Ю.В., Чижов А.С. | Опубликовано: 14.10.2015 |
| Опубликовано в выпуске: #3(36)/1996 | |
| DOI: | |
| Раздел: Оптика | |
| Ключевые слова: | |
Предложена модель теплопередачи импульсного лазерного излучения в оптически прозрачный диэлектрический материал, причем снимаемый электрический сигнал представлен функцией основных геометрических и оптических параметров процесса. С использованием этой модели определено разрешение при измерении нарушенного слоя на сферической поверхности образцов из кварцевого стекла при интерферометрической регистрации отклонения излучения. Сделан прогноз предельно достижимого разрешения предложенной методики измерений.
Литература
[1] Структура и прочность материалов при лазерных воздействиях // Под редакцией С.А. Шестерикова. - М.: Изд.МГУ, 1988. - 224 с.
[2] Иванов Э.В., Чижов А.С. Влияние нарушенного слоя на параметры термоупругой реакции кварцевого стекла при импульсном лазерном облучении // Тезисы докладов конференции "Нерезонансное взаимодействие лазерного излучения с веществом". ВНЦ "ГОИ им. С.И. Вавилова". - С-Петербург, 1996. - С. 32.
[3] Жаров В.П, Летохов В.С. Лазерная оптико-акустическая спектроскопия. - М.: Наука, 1984. - 320 с.
[4] Niе Y.-X., Bertrand L. Separation of surface and volume absorption of photothermal deflection // J. Appl. Phys. - V .65. - No. 2. - 1989. - P. 438-447.
[5] Пахомов И.И., Цибуля А.Б. Расчет оптических систем лазерных приборов. - М.: Радио и связь, 1986. - 152 с.
[6] Климков Ю.М. Прикладная лазерная оптика. - М.: Машиностроение, 1985. - 128 с.
[7] Кубышкин А.П., Матросов М.П. Локальные измерения оптического поглощения в ZnSe фототепловым методом // Известия РАН. Сер. Физическая. - Т. 57. - № 12. - 1993. - С. 141-149.
[8] Юревич В.И., Судьенков Ю.В. Измерение коэффициента поглощения селенида цинка бесконтактным фототермоакустическим методом // Известия РАН. Сер. Физическая. - Т. 57. - № 12. - 1993. - С. 160-166.
[9] Карлслоу Г., Егер Д. Теплопроводность твердых тел. М.: Наука, 1964. - 488 с.
[10] Sranks A. Nanometre surface metrology at the national physical laboratory // Metrologia. - No. 28. - 1991/1992. - P. 471-482.
