|

Технология изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов с функциональным микрорельефом поверхности методом плазмохимического травления

Авторы: Одиноков С.Б., Сагателян Г.Р. Опубликовано: 31.10.2013
Опубликовано в выпуске: #2(79)/2010  
DOI:

 
Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Системы, сети и устройства телекоммуникаций  
Ключевые слова: компьютерная голография, дифракционные оптические элементы, плазмохимия, оптическое стекло

Экспериментально решена проблема создания на поверхности деталей из оптического стекла, являющегося диэлектрическим материалом, бинарного функционального микрорельефа методом плазмохимического травления на серийной установке Caroline 15 PE. Получены зависимости скорости и селективности травления стекла от основных факторов процесса. Установлен режим, обеспечивающий полирующее травление оптического стекла. Обоснован и представлен технологический процесс изготовления соответствующих оптических деталей.